CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ

50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールでき…

での低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 　ヒステリシス：0.5%F.S. 　分解能：0.2%F.S. 【クリーン】 　流路部ノングリス 【保護構造IP64】 　電気配線：M12コネクタ ■事例 　研磨力コントロールやCMP装置など...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社