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非接触でエピウェハの抵抗率をモニター可能！
■特徴 ■非破壊・非接触測定 モニター ・モニターウェハー不要 ■ウェハー表面処理装置内臓 ・ＵＶ＋コロナチャージ 及び ＲＯＳＴによる測定前の表面処理が可能 ■高スループット ・測定スピード／ １ポイント ０．１秒 ...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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