実験・研究用マスクアライナー『ES410』

ローコストでフォトリソグラフイに必要な機能を完備！マスクアライナー

【仕様】 ■形式 　・等倍片面露光式マスクアライメント装置 ■露光方式 　・1・1等倍露光　コンタクトおよびプロキシミティ ■適応試料 　・最大φ4インチ　厚さ3mm以内 　・各サイズとも試料台の変更により対応可能 ■固定方式 　・真空吸着式 ■適応マスク 　・最大□5インチ　厚さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…

【仕様】 ■アライメント形式 　・マスクー試料裏面または表面観察によるビデオメモリアライメント ■露光方式 　・1.1（等倍）コンタクト露光 ■適応試料 　・サイズ最大　BA100φ4インチ　BA160Φ6インチ ■適応マスク 　・サイズ最大　BA100□5インチ　BA160□7インチ ■アライメントステージ 　・マ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック