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    5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

    【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

    ます。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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