『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコータ…

グネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の ターゲット材が選択できます。 さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な 移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。 【特長】 ■多種類のターゲット材が選択可能 ■正確な膜厚コントロール ■多試料ステージの移動機構 ■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ ■操...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社