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昨今の製造ニーズにお応え!低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、 またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。 リアルタイムでの薬液濃度監視によって、オペレータおよび技術者による 化学物質の使用量を低減。 製造条件からの逸脱頻度を抑えることを可能にします。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業: ABBジャパン
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