Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能

グの解析ができます。 「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です！ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社