測定用セラミックス平面盤『アブソ・フラット』

測定用セラミックス平面盤『アブソ・フラット』

高精度な測定には、高精度の測定用定盤が必要不可欠なことは言うまでもありません。 しかし、一般的な石定盤ではすぐに擦り減ってしまうという難点があります。 また、セラミックス製の定盤では価格が大変高価になってしまいます。 そこで、『アブソ・フラット』をお手持ちの石定盤に装着していただけば、 摩耗が少ないため長期にわたる高精度測定が可能となり、 コストもセラミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティ・ディ・シー

精密ステージ・テーブル

平面度0.001mm以下の精度を実現（φ12インチの場合）

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成 2.使用中のステージの磨耗修正 φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。 材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。 ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティ・ディ・シー