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低温ALD装置とバレル機構の融合
用例】 磁性粉体(サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等)への保護膜形成 ・保磁力、分散性の向上 ・参加劣化防止 ・帯電防止 全個体電池(結晶、ガラス、ガラスセラミックス) ・硫黄と水分の反応性での有毒ガス発生の課題解決 ・低いイオン伝導率の課題解決 固体酸化物型燃料電池(SOFC) ・高密度イオン伝導体の薄膜化 ・多孔質ステンレス採...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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