原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』

NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM

およびフレアチップ法の 課題を克服します。 【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに 　高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： パーク・システムズ・ジャパン株式会社