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受託サービス(CVD、スパッタリング、パターニング、エッチング)
ウェハー上への微細加工、確かな技術で幅広い受託サービスを提供します。
する受託加工を行っております。社内加工では成膜加工(CVD、スパッタリング)・フォトリソ・エッチング加工を行うことが出来、それ以外の加工は協力企業での加工となります。 成膜は、ウエハー上に数百ナノの絶縁膜、金属膜を形成。 フォトリソは、マスクに描かれたミクロン単位のパターンをウエハー上のレジスト膜に転写しパターニング。 エッチングは、形成された膜、またはシリコン等を化学反応で削り、パター...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社九州セミコンダクターKAW 山香工場
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