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SEM用試料の前処理用として最適!シリーズ最小のコンパクトコーターです…
1.2kV/0~9.9mA ○到達圧力:5Pa ○チャンバーサイズ:90(dia.)×90(depth)mm(SUS製) ○タイマー:0~15min(最長30min) ○ガス導入機構:ニードルバルブ 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手 ○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) ○設置電源:単相 AC100V±10% 50/60Hz 7A ○寸法・重量 ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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走査電子顕微鏡用試料作製に最適! 試料作製の煩わしさを解消します。
ト方式(デジタル表示膜厚モニター付) ○高圧電源:1kV/0~20mA ○到達圧力:10Pa ○チャンバーサイズ:120(dia.)×120(depth)mm(ステンレス製) ○ガス導入機構:ニードルバルブ ○排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) ○設置電源:単相 AC100V±10% 50/60Hz 10A ○寸法・重量 →本体:225(W)×420(D)×320(...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
【基本仕様(抜粋)】 ○放電形態:直流マグネトロン ○放電制御:定電流 30mA ○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間:最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下) ○プロセスガス導入口:φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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小型成膜装置!ターゲットは3種類同時に装着可能です。
【仕様】 ○放電形態:直流マグネトロン ○放電制御:定電流 30mA ○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間:最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下) ○プロセスガス導入口:Φ6mmワンタッチ継手(シンフレックスチューブ用)...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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