『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできる…

用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社