『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』ブロンコスト・ジャパン

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが
できる装置です。

メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、
これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。
しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、
正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、
上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの
ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。
本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。

【特長】
■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式
■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる
■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.bronkhorst.com/ja-jp/products-jp/liqui…

基本情報『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

【その他の装置紹介】
[ブロンコスト製　充填装置]
■コリオリの精度を利用し、ポンプの回転数を制御、質量流量にて投入できる装置
■ポンプの弱点である、容積式の誤差をコリオリ式にて質量で補正
■精密な充填（連続充填）が可能に
■電子天秤などで質量の確認が不要
[その他装置]
■コリオリ式マスフローメータとコントロールバルブ、
　コリオリ式マスフローメータとシャットオフバルブを
　組み合わせた充填システムもご用意

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

ブロンコスト・ジャパン株式会社

●マスフロー ●圧力計測と制御下記メーカー100%出資の日本法人・Bronkhorst High-Tech B.V. (オランダ) 下記メーカー製品の販売・Bronkhorst High-Tech B.V. (旧Bronkhorst CORI-TECH B.V.製品を含む) (オランダ) ・Bronkhorst Instruments GmbH (旧M+W instruments GmbH製品を含む) (ドイツ) ・Mass Flow ONLINE B.V. (オランダ)