サンプリングマシン　アクシスプロFC『AxisProFC』

5μm以下対象物もピックアップ可能な、顕微鏡一体型マイクロマニピュレー…

ンプリング ■５μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■１０μm以下エリアの切削・切除 ■５〜２００μm深さに埋没している１０μm異物採取 ■５μm間隔での精密刻印・マーキング ■５μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■３０μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■ＦＩＢ加工された薄片リフトアウト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

従来では不可能だった顕微鏡下での精密作業が可能となるアクセサリー

アクシスプロとの組み合せで最大の性能を発揮

ンプリング ■５μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■１０μm以下エリアの切削・切除 ■５〜２００μm深さに埋没している１０μm異物採取 ■５μm間隔での精密刻印・マーキング ■５μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■３０μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■ＦＩＢ加工された薄片リフトアウト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET（図１）において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました（図２）。 分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、A...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

異物サンプリング装置　アクシスプロ『Axis Pro』

5μm以下もOK。顕微鏡一体型マイクロマニピュレーター

ンプリング ■５μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■１０μm以下エリアの切削・切除 ■５〜２００μm深さに埋没している１０μm異物採取 ■５μm間隔での精密刻印・マーキング ■５μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■３０μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■ＦＩＢ加工された薄片リフトアウト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

サンプリングマシン　アクシスプロSS『AxisProSS』

5μm以下対象物もピックアップ可能な、顕微鏡一体型マイクロマニピュレー…

ンプリング ■５μm以上の微小物の真空吸着と移動 ■１０μm以下エリアの切削・切除 ■５〜２００μm深さに埋没している１０μm異物採取 ■５μm間隔での精密刻印・マーキング ■５μm以下パッドへのプローブコンタクト ■溶液の吸引・滴下操作 ■３０μmのホール中の対象物ピックアップ ■繊維中インクのピックアップ ■ＦＩＢ加工された薄片リフトアウト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部