超小型高速撮像干渉計 PhaseCam6000

震動環境・長光路での測定に好適

レーザー光源部・電源供給部・各種制御部を分離することで、計測ヘッドを5kg以下に抑え、大型光学系の研磨作業中の計測を実現。また、計測ヘッドを研磨パッド近傍に設置できるため、研磨中の評価測定およびフィードバックを容易に行うことができる。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム