薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ■エッチング ・スプレー式 ・ディップ式 ■剥離・洗浄 ・スプレー式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社