イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード/基板クリーニングモード/ガスパージモードの運転切替が可能 9.RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です 10.イオンカレントモニタをオプションで用意しております...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社