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![積層薄膜作製装置 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/153/2000482983/IPROS01983404603772872838.png?w=64&h=64)
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積層薄膜作製装置
多層塗りによる厚膜の作製!スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置
■スピンコータ回転数:0 ~ 5000rpm(±1rpm)
■焼結温度:~800℃(均熱領域50mm)
■基板冷却:乾燥窒素吹付け
■ロボット停止精度:±50μm
■ディスペンサー:エアーパルス方式、滴下量0.05ml以上
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メーカー・取り扱い企業:
株式会社和泉テック
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