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把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と 設計技術により、好適な製品仕様を提案。 また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、~500℃...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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