カスタマイズ静電チャッククリエイティブテクノロジー

把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を
提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。

ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と
設計技術により、好適な製品仕様を提案。

また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。

【オプション対応例】
■ヒーター内蔵
・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと
　融合させることで、高精度の温度制御が可能
■高温対応
・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の
　高温環境での使用が可能
■異常放電対策
・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://youtu.be/faENsMu6QUI

基本情報カスタマイズ静電チャック

【カスタマイズ要素例(抜粋)】
■設計/製造
<静電チャック>
・材質：材質（セラミック/コーティング/樹脂）他
・内部電極パターン：単極、双極他
・表面状態：表面形状（エンボス/フラット）、面粗さ他
<ステージ基材>
・材質：樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金他
・接合方法：メタライズ、真空ロウ付け、ビーム溶接、拡散接合他
・表面処理：アルマイト、溶射、メッキ、スパッタ他
■検査
・機械的要素：二次元測定、三次元測定、Heリーク検査、耐水圧検査他
・熱的要素：熱電対温度測定、サーモグラフィ他
・組み立て妥当性：超音波探傷検査他
・機能診断：テストチャンバーによるガス圧検査他

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