バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…

○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス Ｏ２　1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ ○ウエハーサイズ ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト