オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

3.マスクとウエハの平行出しは､補正機能板で露光ごとに可能です｡ 4.レシピにより登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする､画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています｡ 5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています｡ 6.露光方式は､ソフトコンタクト､プロキシミティ､ハードコンタクト(真空密着)から選択できます｡ 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社