高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

PH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサを長期間に渡って使用すること...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！

お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット ■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッチング不要） ■設置スペースの最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…

【仕様（一部）】 ■質量範囲：100,200,300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）,...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

【仕様（一部）】 ■質量範囲：100、200、300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）、...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社