低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！
『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。
熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。
また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。
【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度な質量分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析）
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
【仕様（一部）】
■質量範囲：100,200,300amu
■検出器タイプ：FC／EM
■イオン化エネルギー：70eV
■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor）
■最小検出速度：1.8msec
■動作温度：200℃（FC）,150℃（EM）
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
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