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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
Pa ■最大流量:30L/min(nor)(P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ■使用温度:-5~40℃ ■重量:1.2kg(2ポート)、1.6kg(3ポート) ■内蔵フィルター濾過度:20μm ■接ガス金属部面粗さ:Ra0.25μm(オプション:Ra0.1μm) ■出入口ポート口径:1/4" ■外部リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下 ※詳...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整…
ている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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