蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

晶寿命時の自動切り替えのバックアップ用として使用したり、複数の位置のレート測定値を平均演算処理してレート/膜厚制御に使用するなどの利用ができます。 ・多種多様な多層膜のプログラムが可能/98種のフィルムプログラムを定義可能で、それらの組み合わせで99ステップまでの多層膜シーケンスをプログラム可能。さらにこのレシピを9個まで記憶できますので、どんな多層膜蒸着のシーケンスにも対応できます。 ・複数...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社