【ガイドブック】環境汚染物質の信頼性の高い分析について

土壌、スラッジ、堆積物、廃棄物、廃水、大気などのマトリックス分析に使用…

大気などのマトリックス分析に使用する機器と手順について説明しています。 ラボにおけるワークフロー、生産性や品質を向上させるためのヒントに ご活用可能。 PAH、PCB、TPH、フタル酸エステル、農薬などの一般的な汚染物質検出の 参考にしてください。 【掲載内容】 ■多種多様なマトリックスに対応可能な卓越したソリューション ■バリューチェーンに対応した専用ソリューション ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビュッヒ株式会社

【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

φ76～300mmのウエハを昇温加熱することにより、ウエハ表面に付着している有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。またヘキサデカンによる換算定量も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST