パイオクリンカートリッジ

パイオクリンカートリッジ

取り除きます。また、ドライタイプの除害剤のため、取扱いがきわめて簡単に行えるなど、 数々の優れた特長とメリットを備えています。 【特長】 ・水素化物系をはじめ、加水分解性の塩素系ガス/フッ素系ガスなどに対し、 　有害物質を化学的に吸着させ許容濃度以下に除害します。 ・カートリッジは、コンパクトかつ軽量であるため、スペース効率を大幅に高めるとともに、 　取付け作業もスピーディ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

PFC触媒加熱分解装置

CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分…

いため、省スペース、低ランニングコストを実現しました。 ・火炎、燃料が不要ですので、高い安全性があります。 ・分解温度が比較的低温のためサーマルNOxの発生がありません。 ・触媒成分がフッ素化合物の吸収固定も行うためウェットスクラバー等の後 　処理装置が不要です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社