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ペルフルオロブタ-1,3-ジエン 685-63-2 C4F6
ペルフルオロブタ-1,3-ジエン 685-63-2 C4F6
ペルフルオロブタ-1,3-ジエンは、パーフルオロブタジエン(HFBD)としても知られ、分子式はC4F6である。ペルフルオロブタ-1,3-ジエンは、合成樹脂やフッ素系物質の重要なモノマーであり、半導体産業におけるエッチングガスとしても高い選択性と精度で使用されている。そのほか、さらに、ヘキサフルオロブタジエンは、従来のパーフルオロカーボン(PFCs)エッチングガスに比べ、大気汚染や環境汚染が比較的少...
メーカー・取り扱い企業: CHEMFISH TOKYO株式会社 TOKYO
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