ペルフルオロブタ－1，3－ジエン　685-63-2　C4F6 CHEMFISH TOKYO

基本情報ペルフルオロブタ－1，3－ジエン　685-63-2　C4F6

ペルフルオロブタ－1，3－ジエンは、パーフルオロブタジエン（HFBD）としても知られ、分子式はC4F6である。ペルフルオロブタ－1，3－ジエンは、合成樹脂やフッ素系物質の重要なモノマーであり、半導体産業におけるエッチングガスとしても高い選択性と精度で使用されている。そのほか、さらに、ヘキサフルオロブタジエンは、従来のパーフルオロカーボン（PFCs）エッチングガスに比べ、大気汚染や環境汚染が比較的少ない高アスペクト比プロセスで使用することができます。半導体産業が急速に発展し、環境に対する要求が高まっている今日、広く使用されているPFCsを比較的環境に優しい材料に置き換える傾向にある。

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型番・ブランド名	CHEMFISH
用途／実績例	ペルフルオロブタ－1，3－ジエンは、パーフルオロブタジエン（HFBD）としても知られ、分子式はC4F6である。ペルフルオロブタ－1，3－ジエンは、合成樹脂やフッ素系物質の重要なモノマーであり、半導体産業におけるエッチングガスとしても高い選択性と精度で使用されている。そのほか、さらに、ヘキサフルオロブタジエンは、従来のパーフルオロカーボン（PFCs）エッチングガスに比べ、大気汚染や環境汚染が比較的少ない高アスペクト比プロセスで使用することができます。半導体産業が急速に発展し、環境に対する要求が高まっている今日、広く使用されているPFCsを比較的環境に優しい材料に置き換える傾向にある。