【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【高耐久/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラム…

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ）です。 コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。 流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。 補助スプリング...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計

高純度流体向けの高精度圧力計

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。...・テフロンコーティング圧...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【薬液,純水用/Oリングフリー】フッ素樹脂製チャッキバルブ

薬液や純水ラインでの逆流防止に！接液部が全てPTFEなので様々な腐食性…

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁（チャックバルブ）です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。...【サイズ】1/4" ～ 1 【適用流体】腐食性・不活性の気体および液体 【流体温度】0 ～ 130℃ 【使用圧力】Max 0.6MPa 【クラッキング圧力】0.0017MPa - 0.0...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【有機溶剤/引火性液体に最適】帯電防止仕様のフッ素樹脂製バルブ

静電破壊による漏洩対策に！接液部に導電性PTFEを使用しているので、帯…

半導体製造プロセスやケミカル工場で使用する引火しやすい溶剤などの高純度薬液の移送に最適なバルブです。ご要望に合わせて様々なデザインで製作が可能です。...接液部材質:PTFE 流体圧力:0.42Mpa アクチュエーター:自動、手動...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『半導体産業における排水の化学的処理』

腐食性化学薬品を含んだ排水処理用バルブのご提案

半導体の製造工程では数多くの腐食性化学薬品が使用されているため,大部分の排水は化学的に中和する必要があります。 これらの工程から出る排水の処理には,高い耐薬品性を持つGEMÜの各種フッ素樹脂バルブが使われます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『工業生産のケミカルサプライ』

一般工業生産規模の化学薬品供給輸送までできる製品群

多量のケミカル流体を使用する一般工業分野でも,GEMÜの各種フッ素樹脂製コンポーネントはご使用頂けます。 バルブは最大100A(4')のサイズまでラインナップしております。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。...・多様な電気接続に対応可能 ・...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社