【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

【さまざまな計算結果を出力】 ■ポテンシャル分布 ■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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