【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

から化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI上で、複数の反応式を設定も可能 ・成膜速度分布 ・電子とイオンの密度分布 ・ラジカルと励起種の発生分布 ・イオンフラックス分布 ・エロージョン速度分布　　　　　　など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

から化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI上で、複数の反応式を設定も可能 ・成膜速度分布 ・電子とイオンの密度分布 ・ラジカルと励起種の発生分布 ・イオンフラックス分布 ・エロージョン速度分布　　　　　　など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社