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把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
【カスタマイズ要素例(抜粋)】 ■設計/製造 <静電チャック> ・材質:材質(セラミック/コーティング/樹脂)他 ・内部電極パターン:単極、双極 他 ・表面状態:表面形状(エンボス/フラット)、面粗さ 他 <ステージ基材> ・材質:樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金 他 ・接合方法:メタライズ、真空ロウ付け、ビーム溶接、拡散接合 他 ・表面処理:アルマイト、溶...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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