カスタマイズ静電チャック

把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

【カスタマイズ要素例(抜粋)】 ■設計/製造 <静電チャック> ・材質：材質（セラミック/コーティング/樹脂）他 ・内部電極パターン：単極、双極 他 ・表面状態：表面形状（エンボス/フラット）、面粗さ 他 <ステージ基材> ・材質：樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金 他 ・接合方法：メタライズ、真空ロウ付け、ビーム溶接、拡散接合 他 ・表面処理：アルマイト、溶...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー