ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

高度なハイクリーン状態に保つ ■シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮 ■お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して設計 ■弁箱付タイプはメンテナンスフランジを上部に設けており、 　上部より弁板の脱着が可能 ■100万回のライフサイクルと安定した品質をご提供 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34,CF70を規格化 ■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能 ■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量 ■回転ロック機構付 ■開度が...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社