イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

してください。 【装置仕様概略】 　・スパッタリング用イオンソース 　　フォーカスグリッド 　・アシスト用イオンソース 　　デフォーカスグリッド 　・シングルステージ 　・ターゲットホルダー 　・排気系 　・制御系 【オプション】 　・プラネタリーステージ 　・膜厚計 　　透過型光学モニター 　　水晶膜厚計 　・全自動多層薄膜成膜ソフト...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社