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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…
【MS-3C100L ソフトウェア機能】 ■製膜ログ機能 ・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・ 基板ホルダー回転速度の自動保存が可能 ■製膜レシピ機能 ・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・ スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所
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４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーシ…
本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。 独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス
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