プラズマCVD装置
漏洩マイクロ波検出用も付属!試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…
て製作されたCVD装置です。 マスフロー本体は、メーカー品を使用。表示器、設定器は当社オリジナルで 製作し価格を下げております。 また、プラズマ発生域と試料の距離を変更できるよう、マイクロ波導波管を 上下できる機構を備えています。 【特長】 ■実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社和泉テック
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