マスフローコントローラー

最新のCMOSensTM技術により開発されたマスフローコントローラー

センシリオン社の全てのマスフローコントローラーはパテント取得済みのCMOSens 技術を用いています。 シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器及びA/D変換回路を単一のCMOSチップ上に一体...

メーカー・取り扱い企業： センシリオン株式会社