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    カスタマイズ静電チャック

    把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

    面粗さ 他 <ステージ基材> ・材質:樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金 他 ・接合方法:メタライズ、真空ロウ付け、ビーム溶接、拡散接合 他 ・表面処理:アルマイト、溶射、メッキ、スパッタ 他 ■検査 ・機械的要素:二次元測定、三次元測定、Heリーク検査、耐水圧検査 他 ・熱的要素:熱電対温度測定、サーモグラフィ 他 ・組み立て妥当性:超音波探傷検査 他 ・機能...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー

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