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業界トップクラスの基本性能
御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御(冷却水センサー、振動ボックス等) •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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