静電チャック 吸着モニターユニット

静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態…

クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■取り付けが容易 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー