真空フィードスルー『VFT シリーズ』

350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー

『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の 超高真空アプリケーション用アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。 コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。 【特長】 ■NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社