微小流量コントローラ『Z3000型』

流量計に熱式流量計を採用！1～25ｍL/minの微小領域のコントロール…

『Z3000型』は、熱式微小流量計とモーターバルブを組み合わせた 微小流量コントローラです。 バルブユニットとコントローラユニットを一体型にし、小さいスペースで 取り付けが可能。 また、通信ポートを本体側面に装備し、専用オペ...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社