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PR圧縮空気を供給するだけで手軽に「窒素(N2)」を精製!もう大規模な設備…
『NSシリーズ』は、食品の加工や包装工程、レーザー加工機などに使用される窒素ガスを 圧縮空気から高純度に分離精製する窒素ガス精製ユニットです。 簡単に連結ができるモジュール設計を取り入れ、フィルタ類やレギュレータ、 絞り弁などの機器をコンパクトにシステム化が可能です。 また、精製は膜分離式のため電源が不要で、防爆雰囲気や異電圧地域でも使用でき、 電気ノイズや発熱、駆動音等にかかわる問...
メーカー・取り扱い企業: CKD株式会社
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自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』
知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します!
用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適です。 また、塗布ユニット/現像ユニットを搭載し、2”/8”ウェーハの 簡易切換えが可能です。 【特長】 ■自由度の高い設計 ■塗布ユニット/現像ユニットを搭載 ■量産仕様に対応可能 ※詳しくはカタログ...
メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社
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