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小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット!
【その他の特長】 ■SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能 ■真空吸着でウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小径ウエハ用のクリーンロボット!
【その他の特長】 ■SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ■真空吸着、落し込みでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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