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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
■大気圧から高真空まで、広い圧力範囲を1 台で安定した圧力測定が可能 ■1台2役でコスト低減 ■独自の光トリガ機構を採用し測定停止を低減 ■幅広いプロセスに対応 ■メンテナンス可能で低ランニングコスト ■メンテナンスは部品交換のみ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲(1~80…
いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力領域を高感度で測定 ■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト ■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 資料内の動作圧力に関する記載が「1.3Pa以下」となって...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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