スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

反応用恒温槽（150℃反応用恒温槽）

室温＋10℃〜150℃の高温まで安定して使用できる恒温槽

室温＋10℃〜150℃の高温まで安定して使用できる恒温槽 【特長】 ■空気循環式のため反応場の交換等メンテナンスが容易 ■カラム内での合成やマイクロリアクターの温度制御が可能 ■反応用恒温槽として最適の省スペースデザイン ■温度設定範囲 室温＋10〜150℃ ■温度センサー　白金温度センサーPt100Ω ■制御方式　　　SSR（駆動）P...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社センシュー科学